2021年5月27日，省科技厅组织的中期绩效评估专家组对泉州师范学院光子技术研究中心廖廷俤教授主持的福建省科技重大专项 （2019HZ020010）《基于机器视觉的半导体致冷器件晶粒智能筛选关键技术研究》进行中期绩效评估，与会专家听取了项目组的汇报，查阅了科技重大专项专题任务书、科技重大专项专题中期执行情况与经费开支报告及执行情况总结、相关佐证材料及附件等有关资料，针对项目研发产生的新产品、新工艺、新装置及项目研发相关的设施等进行了实地考察，核查评估指标完成情况；经过质询和讨论，专家组认为该项目已经完成了预定考核指标：首先，项目组完成了半导体致冷器件晶粒筛选系统Beta样机关键技术的研究，包括整机机械结构、光学检测装置、图像处理系统、电气控制系统的设计与研制等，并达到了阶段技术指标；其次，项目组提出并采用了晶粒双面同时等光程共焦成像检测的解决方案，实现了筛选机采用三个工位实现晶粒双面缺陷与尺寸的同时成像检测的方案，即工位 1 实现晶粒 3 维尺寸的检测，而工位 2、3 分别完成晶粒双面缺陷同时成像检测，进行了晶粒缺陷检测图像处理算法开发，提高了尺寸检测精度与效率；第三，项目组采用了基于光纤传感器的振动盘料满停机控制装置，实现了大于 3 粒/秒的晶粒匀速送料与检测的目标；第四，项目已经申请发明专利 14 项，授权实用新型专利 12 项，发表学术论文 1篇，为泉州依科达半导体科技和福建福特科光电股份公司提供技术咨询和服务收入 78.9 万元；第五，项目提交的材料符合中期绩效评估要求。专家组一致同意通过项目中期绩效评估。
该项目是是泉州师范学院获得的首个省科技重大专项，研发经费总投资500万元，财政资助金额300万元，研发时间为2019年至2022年。项目负责人廖廷俤教授表示，下个阶段将根据专家组的意见，大力推进项目的开展，同时，启动产品的应用推广工作，实现本项目研究成果的转化，通过产学合作方式，培育一批机器视觉专业人才，增强企业的自主创新能力，服务福建省智能制造产业，促进产业转型升级。
